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PI传感器、组件和配件
纳米计量传感器和信号调节器
PI提供纳米计量电容式传感器技术，该技术用于高级纳米定位阶段，也可作为OEM应用中集成的组件。
PI E-852 PISeca 信号评估
用于电容式单电极传感器
PISeca 电容式传感器
集成线性化功能 （ILS） 实现出色的线性度
可选带宽范围为 10 Hz 至 10 kHz
可变测量范围
LED 条测量范围显示屏，易于集成
多轴应用的外部同步
集成线性化系统 （ILS） 确保最高精度
在电子设备中，集成的线性化系统可确保最高的精度。补偿传感器和测量表面之间平行度误差的影响，从而保证出色的线性度（线性误差低于0.1%）。
多轴应用的外部同步
当多个传感器系统一起使用时，只需通过PISeca 电子设备的 I/O 线即可完成同步。
E-852.10
E-852.10A1
D-510 PISeca 电容式传感器
具有出色位置分辨率的单电极传感器
用于PISeca电容式传感器的廉价系统解决方案
非接触式测距
绝对位置感应
振动测量
亚纳米分辨率
灵活的测量范围
易于集成
采用电容式位置传感器，实现最高的精度和使用寿命
结合用于信号处理的电子设备，可以达到亚纳米级的分辨率，适用于准静态应用。对于高动态应用，带宽可以增加到10 kHz，其中仍然可以达到1 nm范围内的分辨率。线性误差小于0.1%。
定制版本/双电极传感器
除了此处列出的标准传感器外，PI还提供一系列特定应用的定制版本，例如，测量范围，几何形状或材料可根据客户要求进行调整。还提供定制的电子产品。
D-100系列双电极传感器可满足对线性度和分辨率的最高要求。
易于操作和集成
所有PISeca传感器头都配有LEMO连接器，便于安装和更换。均匀的轴厚度确保了兼容性和灵活性。用于连接评估电子元件的电缆有多种型号，因此必须单独订购。
应用领域
工业和研究。半导体制造和检测。纳米学。主动减振器。精密加工。
D-510.021
D-510.051
D-510.101
D-050 • D-100 电容式传感器
亚纳米分辨率位置传感器
最高精度
分辨率达0.01nm
线性误差达 0.01%
测量范围达 300μm
E-509.CxA 控制电子元件，与 E-500 压电控制器系统兼容
分辨率
电容式传感器可在较短的距离内实现皮米范围内的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中，散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与 E-509 结合使用。C1A电子器件，D-100.00传感器（100μm）的有效噪声因数为0.02 nm/√Hz。例如，对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 带宽。电子设备的跳线可调带宽高达3 kHz。
除了此处列出的标准传感器外，PI还提供定制版本，例如测量，几何，材料，电子等。
应用领域：高精度定位。
D-050.00
D-100.00
E-509。E PISeca 传感器评估/控制器
三轴伺服控制器模块，E-500压电控制器系统
E-509。E03： 电子模块，3轴，用于电容式传感器
E-509。E3：传感器模块，3轴，带用于压电系统的附加伺服控制器
用于 E-500 / E-501 机箱的插入式模块
ILS 电路优化了电容式传感器线性度
可选测量范围
可变带宽（可选）
用于PISeca的信号评估和伺服控制器模块
E-509。E03 和 E-509。E3 可作为 E-500 / E-501 机箱的插入式模块提供，用于 PISeca 系列中的高分辨率电容式单板传感器：
E-509。E03 用于信号评估
E-509。E3作为伺服控制器模块
E-509.E03
E-509.E3
PI E-509
E-509 信号调节器 / 压电伺服模块
伺服控制器模块，最多3轴，E-500压电控制器系统
带传感器评估电子元件的位置控制模块
E-509 是一款带有传感器评估电子设备的位置控制模块，用于集成位置传感器的纳米定位系统。它会自动消除压电操作期间发生的漂移或迟滞，并在负载变化后立即调整压电陶瓷电压时补偿压电陶瓷促动器位置的变化。
纳米级精密压电定位
E-509伺服控制器模块的比例积分位置控制针对压电操作进行了优化。比例项和积分项以及控制带宽可以单独调整。集成的陷波滤波器（可为每个轴设置）提高了稳定性，并允许更宽带宽的操作更接近压电系统的机械谐振频率。因此，根据压电陶瓷机械结构和传感器类型，定位精度和可重复性可在纳米范围内实现。
E-509。用于信号评估的E03型号和E-509。E3型号作为伺服控制器模块可用于PISeca系列中的高分辨率电容式单板传感器。
E-509.C1A
E-509.C2A
E-509.C3A
E-509.S1
E-509.S3
