德国PI（Physik Instrumente）

L-738 精密XY位移平台

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产品优势：
行程为102毫米×102毫米(4")
大孔径，150毫米×150毫米
单向重复精度达0.05微米
速度达90毫米/秒
两相步进电机，直流–电机
增量线性编码器分辨率为1纳米


产品参数：
主动轴 X, Y
行程 102 × 102 毫米
角度误差xry（螺距） ±40 微弧度
角度误差xrz（偏转角） ±20 微弧度
角度误差yrx（螺距） ±40 微弧度
角度误差yrz（偏转角） ±20 微弧度
直线度/平面度 ±2 微米
正交性 ±96.963 微弧度
速度：
L-738.053111 / L-738.053112：50
L-738.053132：90
负载容量 200
工作电压，标称值 24 伏
工作电压，最大值 48伏
X向上的移动质量，14.6
Y向上的移动质量， 5.8


产品型号：
L-738.051100
L-738.051111
L-738.051112
L-738.05313



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德国PI L-738 精密XY位移平台