亚纳米级分辨率位置传感器德国PI

D-015 • D-050 • D-100 电容式传感器

亚纳米级分辨率位置传感器

·         适用于具有最高精度要求的应用

·         测量范围达 1000 μm

·         分辨率高达 0.01 nm

·         线性误差高达 0.01 %，采用数字控制器

·         E-509.CxA 控制电子元件，兼容 E-500 压电控制器系统

应用领域

高精度定位。

分辨率

电容式传感器可在较短的距离内实现皮度计的分辨率。理论测量分辨率是无限的。在实践中，散射辐射、几何效应和测量电子噪声会影响可实现的精度。与E-509配合使用。C1A电子元件，D-100.00传感器的有效噪声因数（100μm）为0.02 nm/ÖHz。例如，对应于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 带宽。电子元件的跳线可调带宽高达3 kHz。

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供定制版本，例如测量，几何形状，材料，电子等。

D-510 PISeca 电容式传感器

具有出色位置分辨率的单电极传感器

周莉 QQ：2668476640   手机：13390167995 电话：010-64714988-226 传真：010-64714988-668 邮件：tk3@handelsen.cn

·         非接触式距离测量

·         绝对位置感应

·         振动测量

·         亚纳米级分辨率

·         灵活的测量范围

·         易于集成

电容式位置传感器实现最高的精度和使用寿命

结合用于信号处理的电子设备，对于准静态应用，可以达到亚纳米级的分辨率。对于高动态应用，带宽可以增加到10 kHz，其中仍然可以达到1 nm范围内的分辨率。线性误差小于0.1%。

定制版本/双电极传感器

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供一系列特定于应用的定制版本，例如，测量范围，几何形状或材料都适合客户要求。还提供定制的电子产品。

D-100 系列中的双电极传感器可满足对线性度和分辨率的最高要求。

易于操作和集成

所有 PISeca 传感器头都配有 LEMO 连接器，便于安装和更换。均匀的轴厚度确保了兼容性和灵活性。用于连接评估电子设备的电缆有多种型号，因此必须单独订购。

应用领域

工业和研究。半导体制造和检验。纳米计量学。主动减振器。精密加工。

亚纳米级分辨率位置传感器德国PI