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电容（电容式）位移传感器是测量、高动态纳米计量器件，可提供高的线性度和精度。PI电容传感器/信号调理器电子元件利用高频交流激励信号来增强带宽和无漂移测量稳定性（可以在几个小时内实现亚纳米级稳定性）。为了提供精度等级更高、分辨率优于一纳米的纳米定位系统，PI开始开发电容式位置传感器件。从那时起，已经制造了数千个单探头和双探头传感器和控制器，用于PI的闭环压电定位平台和各种定制纳米精密测量应用。
PI 优势：
· 提供单板和双板传感器，具有更大的灵活性
· 测量带宽高达 10kHz
· 亚纳米级分辨率
· 提供定制多传感器电子设备（模拟和数字）
· 提供闭环运动控制器
· 定制纳米精密定位系统，带集成电容式传感器
电容式测距原理
两种类型的电容式距离传感器很常见：单电极传感器和两电极传感器。
双电极传感器可以实现更低的噪声水平和更高的分辨率。其原理基于两个导电表面和高频（>100kHz）交流电，在它们之间产生均匀的电场。电容与有效表面除以距离成正比。对于给定区域，测量的距离与距离成正比。单电极电容式传感器的工作原理类似。它们更易于处理，并且可以针对各种导电表面进行测量。
Physik Instrumente (PI) 电容式位移传感器