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Physik Instrumente (PI) XYZ压电弯曲扫描仪P-733.3 XYZ压电纳米定位器

产品描述：

- X、Y行程范围为100 µm×100 µm，Z行程范围为10 µm。

 

- 分辨率高达0.1 nm的电容式传感器。

 

- 直接驱动的高速版本

 

- 超高真空兼容和非磁性版本

 

- 并行运动学，以获得更高的精度和动态性能。

 

- 主动补偿导向误差的并行测量。

 

- 无间隙、高精度偏转导向系统

 

- 透明孔径50毫米x50毫米，适用于透射光应用。

 

应用

 

- 扫描显微镜

 

- 共聚焦显微镜

 

- 掩膜/晶圆定位

 

- 表面计量学

 

- 纳米压印

 

- 显微手术

 

- 图像处理/稳定化

 

- 具有高平直度的纳米定位运动

 

电容式传感器的亚纳米分辨率

 

电容式传感器以亚纳米分辨率进行非接触式测量。它们保证了卓越的运动线性、长期稳定性和kHz范围内的带宽。

 

自动配置和快速元件交换

 

机械师和控制器可以任意组合，可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-Sub连接器的ID芯片中。每次控制器开启时，数字控制器的自动校准功能都会使用这些数据。

 

适用于复杂的真空应用

 

压电系统中使用的所有元件都非常适合在真空中使用。操作时不需要润滑剂或润滑脂。不含聚合物的压电系统允许非常低的放气率。

 

PICMA®压电执行器使用寿命长。

 

获得专利的压电式PICMA®执行器是完全陶瓷绝缘的。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍。没有被证实的1000亿次的单次故障。

 

无间隙的导正器，实现了高导正精度。

 

柔性导轨是免维护、免摩擦、免磨损的，不需要润滑。其刚度使其具有较高的负载能力，对冲击和振动不敏感。它们100%与真空兼容，可在较宽的温度范围内工作。

 

平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度。

 

所有的自由度都与一个固定的基准有关。与其他轴之间不必要的运动串扰（主动引导）可以实时主动补偿（取决于带宽）。在动态操作中，还可以实现纳米范围内的高跟踪精度。