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带超声波压电电机和中央孔径的平台
PILine®超声波压电电机
作为PILine®超声波压电电机不可或缺的一部分，压电陶瓷促动器上被施加预载，通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下，压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环；高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。
采用增量编码器实现直接位置测量
非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置，因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。
交叉滚子轴承
利用交叉滚柱轴承，滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。
有效专利
美国专利号为6,765,335B2
欧洲专利号为1267425B1
应用领域
显微操纵、自动化、生物科技、样本操作、样本定位、光学计量、真空应用达10-6 百帕（可选）
订购信息
U型651.03
旋转台采用低剖面和PILine®超声波压电马达，旋转范围> 360°，速度540°/ s。 直接的位置
使用增量编码器测量，9μrad分辨率，Sub-D连接器
U型651.04
旋转台采用低剖面和PILine®超声波压电马达，旋转范围> 360°，速度540°/ s。 直接的位置
使用增量编码器测量，4μrad分辨率，Sub-D连接器
备品
U型600.A01
用于PILine®的延长电缆，Sub-D 15针，1米
U型600.A03
用于PILine®的延长电缆，Sub-D 15针，3米
U型600.A05
用于PILine®的延长电缆，Sub-D 15针，5米