点击图片查看原图Z 到 ±2.5 毫米的行驶范围
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旋转范围在 +X， \Y 到 ±1°
装载能力为 8 kg
平台直径 250 毫米
总高度 60 毫米
产品概述
A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜阶段。该平台设计为平行运动多轴系统，可用于Z和尖端/倾斜运动。此阶段提供超精密的微型格式。非接触式组件的组合产生无摩擦运动平台，提供最高性能、质量和使用寿命。
当 A-523 与 A-81x 或 A-82x 系列的控制器一起订购时，PI 会通过应用伺服调谐优化和应用负载下执行 Z 阶段的配置和布线。您将收到一个完整的即用定位系统。
配件和选项
空气过滤器套装
内置真空夹紧机制
应用领域
Z 尖端/倾斜阶段非常适合高精度应用，如晶圆检测、光纤定位、光学定位、平板检查、无遮罩平板和超 LED 制造。非接触性设计是清洁室应用的理想之选。
应用领域
研究和工业。用于工具检查、生命科学、微制造、微操纵、工业对齐系统。用于光学元件的组装、对齐和检查。
厂家介绍：
PI 是运动和定位领域全球领先的解决方案供应商。
在过去的四十年里，PI（Physik Instrumente）已经发展成为纳米定位技术的领先制造商。我们创业活动的关键因素和动力始终如一：为客户找到最佳的解决方案。PI（Physik Instrumente）位移平台以产品的质量著称，多年来一直是世界精密定位技术市场的领导者之一。其中最重要的内容是国际PI大家庭内部的团队精神，这种精神建立在相互理解和支持的基础上，克服了国际界限和功能限制。
PI在全球范围内拥有1000多名员工，灵活的垂直一体化组织使Physik Instrumente滑动平台几乎可以满足创新精密定位技术领域的任何要求。
PI 不仅开发并生产广泛的定位阶段和执行器，用于线性、旋转和垂直运动或不同轴的组合。PI 还将这些解决方案适应客户特定的应用或为运动和定位提供成品子系统。
控制是一个重要的系统组件，也由 PI 提供。这不仅提供了复杂的控制概念，而且还为应用环境提供了硬件和软件界面。
无论是标准产品还是全新的开发，无论是 OEM 驱动还是集成系统，目标始终是为每一个可能的应用提供最佳解决方案。
订购信息
A-523.25005B3新！
带空气轴承的皮格利德高精度 Z 尖端/倾斜阶段;无铁三相线性电机;5 毫米旅行范围;2 = × 1.6 ° 旋转角度 （+2X ×）：80 N 负载容量;200毫米/s最大速度;绝对线性编码器，1 纳米传感器分辨率 ，BISS-C
德国PI A-523 多轴运动平台
德国PI A-523 多轴运动平台