德国PI（Physik Instrumente）

皮米精度，高带宽，用于扫描探针显微镜

 

用于 AFM / SPM 的高线性扫描仪

高达 20 皮米的分辨率，滞后 <1 nm

闭环驱动概念带来的最高带宽

用于生物技术/纳米技术的最高分辨率操作工具

共振频率 4.0 kHz (X, Y), 11 kHz (Z)

行程范围 1 µm × 1 µm × 0.6 µm

 

pi-P-313 PicoCube XY(Z) 压电扫描器

应用领域

扫描探针显微镜

原子力显微镜

扫描筛选

平行运动实现高动态多轴操作

在平行运动多轴系统中，所有执行器都作用在一个公共平台上。最小的惯性和所有轴的相同设计允许快速、动态且精确的运动。

 

零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。